Wie wir wissen ZYGO weiterhin zu pflegen die führung rolle in oberfläche form metrology mit laser universal-interferometrie. Es wichtigsten messen radius von krümmung, oberfläche fringe und übertragung wavefront verzerrung. Inzwischen, es kann verbessern die genauigkeit und wiederholbarkeit der inspektion prozess. Vor allem für die flache oberfläche, kugel, zylinder und so auf.
Versichern die hohe oberfläche genauigkeit, angekommen λ/20
Wichtigsten messen die brennweite und zent. Automatische messung, hohe effizienz von messung; Hohe genauigkeit, leistungsstarke funktion, breite palette von messung.
Effektive brennweite messung
Zentrum zent messung: Prism winkel master, jede zwei winkel
Toleranz <1 ~ 2”
Messbereich (mm) | ± 5 ~ ± 450 | -450 ~ + 450 |
Messung genauigkeit | 0.03% ~ 0.3% | 0.2μm |
Werden in der lage zu messen die abmessungen, winkeln und positionen der verschiedenen werkstücke effizient. Die geometrische parameter von cutter, messwerkzeug und mess werkzeug.
Prisma winkel master, jede zwei winkel toleranz <1 ~ 2”
Reise (mm) X x Y x Z | 250x150x200 |
Messung auflösung | 0.5μm |
Messung genauigkeit | X, Y genauigkeit: (3 L/200) um |
Wiederholbarkeit | 2μm |
Optische vergrößerung | 0,7 X-4,5 X |
Bild vergrößerung | 28X-180X |
1. die klassische Czerny-Turner optische struktur, einfache, hohe präzision und gute spektrale auflösung
2. das design der doppel gitter und doppel empfänger sorgt dafür, dass die instrument arbeits band kann das vollständige palette von uv sichtbar und in der nähe von infrarot region (uv-vis-nir).
Messung wellenlänge palette | 190-2800nm |
Scan methode | Durchlässigkeit, extinktion, reflektivität, energie |
WellenlängeGenauigkeit | ± 0,5 nm(UV/VIS);± 8nm(NIR) |
Baseline Ebenheit | ± 0,008 A(200-2500nm) |
Spektrale bandbreite | 0,2 nm-10nm |
TENSOR 27 ist eine neue generation von forschung-grade infrarot spektrometer entwickelt durch BRUKER. Echt-zeit online überwachung und diagnose system ist eine zuverlässige garantie von überlegene leistung.
Auflösung | 0,5 cm-1 |
Wavenumber genauigkeit | Besser 0,01 cm-1@ 2000cm-1 |
Extinktion genauigkeit | Besser 0.01% |
Spektralbereich | 1,33-20um |